近日，西安和其光电科技股份有限公司(以下简称“和其光电”)最新研发的多款红外测温设备成功交付，标志着我国半导体领域又一关键设备实现了国产替代，突破了“卡脖子”难题。

  半导体制造要经历晶圆生长、外延、刻蚀等多个工序，在每个工序中，温度的控制和监测对于确定保证产品质量和一致性至关重要。长期以来，我国半导体领域的高端测温设备一直被国外厂商垄断，成为制约芯片产业高质量发展的“卡脖子”难题，国产替代刻不容缓。

  “2022年8月，我们瞄准国产替代，启动了技术攻关，与行业伙伴共渡难关。”和其光电研发总监方笑尘说。

  经过研发人员夜以继日攻坚克难，半导体的红外测温领域技术路线最终被打通，测温精度最高达到±0.15%，各项指标已达到或超过国外同种类型的产品。在此基础上，和其光电相继推出了十几款产品，以满足各类半导体企业的不同需求。

  据方笑尘介绍，和其光电目前已经有比色红外、单色红外及光导管型三款测温设备成功交付客户，其他的还有8款样机正在接受验证。“随着这一些产品的日渐成熟，我国半导体测温设备、实现国产替代便指日可待。”

  和其光电成立于2011年，是在西安高新区“一院一所一校”模式下，由中国科学院西安光机所孵化的高科技企业。自成立以来，和其光电依托中国科学院西安光机所50多年的技术积累，以市场需求为导向，在测温领域持续深耕，曾成功获得多项科学技术创新奖项，并慢慢成长为全球知名的变压器绕组光纤温控系统品牌商之一。

  “和其光电专家们数十年的技术积累和企业持续多年以市场为导向开展的科学技术创新，是本次能够迅速在半导体红外测温领域取得突破的重要原因。”方笑尘说，作为一家国家级专精特新小巨人企业，将继续坚持以创新为根本，为国家科技自立自强贡献更多力量。”(张静攀)

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